來源：財聯(lián)社
財聯(lián)社8月14日電，出爐據(jù)杭州日報，全國近日，首臺商業(yè)作為基地首批簽約孵化項目之一，國產(chǎn)光刻全國首臺國產(chǎn)商業(yè)電子束光刻機“羲之”已進入應(yīng)用測試，電束其精度比肩國際主流設(shè)備，機杭標志著量子芯片研發(fā)從此有了“中國刻刀”。出爐在測試現(xiàn)場，全國浙大余杭量子研究院相關(guān)團隊緊張忙碌著，首臺商業(yè)一臺模樣酷似大型鋼柜的國產(chǎn)光刻機器正在做應(yīng)用測試，電子顯示屏上不斷閃爍著實時參數(shù)。電束“這不是機杭普通的機器，而是出爐一支能在頭發(fā)絲上雕刻出整座城市地圖的‘納米神筆’！”團隊負責(zé)人告訴記者，全國依托省重點實驗室，首臺商業(yè)這臺研究院自主研發(fā)的新一代100kV電子束光刻機“羲之”已正式投入市場。
“羲之”取名自書法家王羲之，“只不過我們的‘毛筆’是電子束，在芯片上刻寫電路?！毖邪l(fā)團隊相關(guān)負責(zé)人介紹，這臺設(shè)備專攻量子芯片、新型半導(dǎo)體研發(fā)的核心環(huán)節(jié)，它通過高能電子束在硅基上“手寫”電路，精度達到0.6nm，線寬8nm，可靈活修改設(shè)計無須掩膜版，如同用納米級毛筆在芯片上精準作畫，特別適合芯片研發(fā)初期的反復(fù)調(diào)試。
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